性能驗證的目的是以嚴格的測試來證明製程的有效性與再現性,在進入 確效的性能驗證階段時,製程規格業已建立而且本質上已透過實驗室或 其他試驗方法證明為可接受者,而且設備已基於適宜的安裝驗證判定為 可接受者。