檢定、檢查設備規定如下:
一、標準氣體:應可追溯至國家或國際標準,除了碳氫化合物(其相對
擴充不確定度U如下示)外,其餘氣體之相對擴充不確定度應不大
於百分之一。
HC(1):小於l000ppm,U小於等於百分之二;1000至2000ppm,
U小於等於百分之一。
HC(2):小於7000ppm,U小於等於百分之二;7000至14000ppm,
U小於百分之一。
用於舊品檢定、檢查之標準氣體之相對擴充不確定度應不大於百分
之二。
U:指在百分之九十五信賴水準下,擴充係數為二之相對擴充不確
定度。
二、零氣體:指THC小於0.五ppm,CO小於一ppm,CO2小於一ppm,H2O
小於五ppm之高純度氮氣。
三、馬錶:應可量測八小時以上,且可讀至0.一秒以下。
四、溫度計:應可量測攝氏溫度五至四十度以上,且可讀至攝氏溫度0
.五度以下,其不確定度應不大於攝氏溫度一度。
五、壓力計:應可量測八十至一百零六千帕斯卡以上,且可讀至二千帕
斯卡以下,其不確定度應不大於五千帕斯卡。
六、流量控制器:應可量測O-1O SLPM以上,且可讀至10 SCCM以下,其
不確定度應不大於三00SCCM。
相關令函 (0) 相關判解 (0) 歷史條次 (0)
|