檢定、檢查設備規定如下：
  一、標準氣體：應可追溯至國家或國際標準，除了碳氫化合物（其相對
      擴充不確定度Ｕ如下示）外，其餘氣體之相對擴充不確定度應不大
      於百分之一。
      HC（1）：小於l000ppm，Ｕ小於等於百分之二；1000至2000ppm，
                Ｕ小於等於百分之一。
      HC（2）：小於7000ppm，Ｕ小於等於百分之二；7000至14000ppm，
                Ｕ小於百分之一。
      用於舊品檢定、檢查之標準氣體之相對擴充不確定度應不大於百分
      之二。
      Ｕ：指在百分之九十五信賴水準下，擴充係數為二之相對擴充不確
          定度。
  二、零氣體：指THC小於０．五ppm，CO小於一ppm，CO2小於一ppm，H2O
      小於五ppm之高純度氮氣。
  三、馬錶：應可量測八小時以上，且可讀至０．一秒以下。
  四、溫度計：應可量測攝氏溫度五至四十度以上，且可讀至攝氏溫度０
      ．五度以下，其不確定度應不大於攝氏溫度一度。
  五、壓力計：應可量測八十至一百零六千帕斯卡以上，且可讀至二千帕
      斯卡以下，其不確定度應不大於五千帕斯卡。
  六、流量控制器：應可量測O-1O SLPM以上，且可讀至10 SCCM以下，其
      不確定度應不大於三００SCCM。